Semiconductor Division
Product Design Division
Energy Product Division
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左14根點玻棒,右14根點播棒來進行上玻璃粉,左邊負責雙數,右邊負責單數合計28根點玻棒,點膠完成後進行熱風烘乾再出料
將乘載點完玻璃膏碳條,傾翻45度收入收料籃,收料籃可收50條碳條
高密度等離子體,刻蝕速度快,勻流設計保證刻蝕均勻性<±3%
六吋爐門
4吋晶舟轉換器用在高溫擴散爐上晶片自動轉載,將石英晶舟上的晶圓片轉載到一般承載舟上
緩慢將晶舟送進、送出,可移至爐邊
三層各3支PU滾軸,軸距可調式+9組軸承座及調整支撐座
單層2支PU滾軸,滾軸距可調,軸承座*4
單層3支PU滾軸,滾軸距可調,軸承座*4
真空產生器吸盤,固定晶圓材料片,HEATER在吸盤底下,可用溫度控制貼紙黏貼度
2座方向燈測試組,可同時放上2個方向燈撥桿產品檢測
車用電動窗按鈕,可反覆耐久測試電子產品作動後電性檢測
晶圓切割吸盤,面平度3㎛ 以內
使用氣壓動力舉伸,由2支缸徑100MM的單桿氣缸