晶舟轉載機

Crystal Boat Transfer Machine

LI17

晶舟轉載機

4吋晶舟轉換器用在高溫擴散爐上晶片自動轉載，將石英晶舟上的
晶圓片轉載到一般承載舟上，也可從一般承載舟上將晶圓片轉載到
石英晶舟上。

■ 當含有晶圓片的石英晶舟放入晶舟座時，請將晶圓片對齊晶
   圓片定位座放入，以免造成晶片錯位。
 

■ 單動模式時，建議一次操作一軸避免造成不可預期之意外

■ 外部尺寸重量：

• 寬 : 1600 x 深800 x高1650mm
   

■ 重    量 :

• 重約90kg