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4吋晶舟轉換器用在高溫擴散爐上晶片自動轉載,將石英晶舟上的 晶圓片轉載到一般承載舟上,也可從一般承載舟上將晶圓片轉載到 石英晶舟上。
■ 當含有晶圓片的石英晶舟放入晶舟座時,請將晶圓片對齊晶 圓片定位座放入,以免造成晶片錯位。
■ 單動模式時,建議一次操作一軸避免造成不可預期之意外
■ 外部尺寸重量:
寬 : 1600 x 深800 x高1650mm
■ 重 量 :
重約90kg