晶舟轉載機

Crystal Boat Transfer Machine

LI17

晶舟轉載機

4吋晶舟轉換器用在高溫擴散爐上晶片自動轉載,將石英晶舟上的
晶圓片轉載到一般承載舟上,
也可從一般承載舟上將晶圓片轉載到
石英晶舟上。

■ 當含有晶圓片的石英晶舟放入晶舟座時,請將晶圓片對齊晶
   圓片定位座放入,以免造成晶片錯位。

 

單動模式時,建議一次操作一軸避免造成不可預期之意外



■ 外部尺寸重量:

  • 寬 : 1600 x 深800 x高1650mm
     

■ 重    量 :

  • 重約90kg

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